产品介绍：
该款CVD管式炉, 可以分为低温、中温、高温三种加热形式，加热元件可分为电阻丝（1100℃以下使用）、硅碳棒（1400℃以下使用）、硅钼棒（1800℃以下使用）等；
CVD管式炉由供气系统、加热系统、真空系统等组成；
1）加热系统可以分单温区、双温区、三温区、多温区等；
2）真空系统可分为低真空和高真空，最高极限真空可以达到10-4Pa（分子泵组）；
3）供气系统是流量调节可以是质子流量计或浮子流量计，混气路数可以是2路、3路、4路、5路、6路等相混合（主要根据客户工艺要求定制）；
炉底(可选)配安装一对滑轨，可用手滑动（主要适用于1200℃以下加装滑轨）。可以达到快速升降温的目的，为取得最快加热速率，可以预先加热炉子到设定的温度，然后移动炉子到样品区。为获得最快冷却，可在样品加热后移动炉子到另一端。物料可以在真空或者惰性气体环境下的升温速率或降温速率达到100°C/s，是低成本快速热处理的理想炉子，是高校、科研院所、工矿企业做高温气氛烧结、气氛还原、CVD实验、真空退火用的理想产品.。
主要功能和特点：
1、 1200℃炉盖可打开，可以随时观察加热的物料，并能迅速降温，满足材料骤冷骤热的实验需要；
2、 炉膛采用日本技术真空吸附成型的优质氧化铝多晶纤维制成，保温效果好，耐用节能， 不掉粉、反射率高、温场均衡，等特点；
3、1）、加热元件采用高电阻优质合金丝0Cr27Al7Mo2，最高发热温度可达1300℃；
2）、加热元件采用优质硅碳棒，最高发热温度可达1450℃；
3）、加热元件采用优质硅钼棒，最高发热温度可达1850℃；
4、数字质量流量控制系统是由多路质量流量计，流量显示仪等组成，实现气体的流量的精密测量和控制；每条气体管路均配备高压逆止阀，保证系统的安全性和连续均匀性。
5、炉管采用高纯石英管（1200℃以下）和高纯刚玉管（1200℃以上），高温下化学稳定性强，耐腐蚀，热膨胀系数极小，能承受骤冷骤热的温度；
6、采用KF快速法兰密封，仅需要一个卡箍就能完成法兰的连接，放、取物料方便快捷，避免了螺栓密封人为操作导致漏气的可能；减少了因安装法兰而造成加热管损坏的可能；
7、预留了真空、气路快速接口，可配合我司真空系统、混气系统使用；
8、预留了485转换接口，可通过我部的软件，与计算机互联，可实现单台或者多台电炉的远程控制、实时追踪、历史记录、输出报表等功能；可安装无纸记录装置，实现数据的存储、输出；
9、炉壳外观采用了圆弧形过度设计，造型新颖、美观；
10、炉子底部采用抽拉式插销结构，方便电器元件和热电偶更换、维修；
11、上盖开启自动断电，超温和断偶保护警报并断电，漏电保护，操作安全可靠。
